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Mit dem Zerfall des Dritten Reiches und dem Zusammenbruch der Ostfront begannen die Deutschen ihren umfassenden Rückzug nach Westen in Richtung Deutschland. Im Sommer 1944, während der großen Offensive der Roten Armee im Osten, begannen die Deutschen mit der Evakuierung der Konzentrationslager und zwangen die Gefangenen auf Todesmärsche Richtung Westen. Der SS-Chef Himmler ordnete an, die Befreiung lebender Gefangener aus den Konzentrationslagern durch die Alliierten zu verhindern. Denn dies war im Lager Majdanek passiert, wo die Mordtaten aufgedeckt worden waren. Ziel der Todesmärsche war es, die Gefangenen aus den Lagern zu evakuieren, um einerseits die Zeugen der Mordtaten zu beseitigen und andererseits die jüdische Arbeitskraft bis zuletzt in Deutschland und Österreich auszubeuten. Den Wachen wurde aufgetragen, die Gefangenen Richtung Westen zu bringen, doch häufig ermordeten sie sie, um schneller vor der Roten Armee fliehen zu können. Dieser Massenmord an Gefangenen dauerte bis zum Tag der Kapitulation Deutschlands am 8. Mai 1945 an.
Als erste wurden die Lager in den baltischen Staaten und in Ost- und Zentralpolen evakuiert. Die Evakuierung erfolgte in dieser Zeit hauptsächlich mit Zügen, die Evakuierung des Lagers Kaiserwald auch mit Schiffen. Ein Teil der Gefangenen wurde zu Fuß aus den Lagern geführt. Wenig später setzte eine gewaltige Welle von Todesmärschen ein.
Am 28. Juli 1944 wurde das Lager, das auf den Trümmern des Warschauer Ghettos errichtet worden war, evakuiert. Seine etwa 3.600 Gefangenen, großteils aus Griechenland und Ungarn, wurden auf einen Todesmarsch in Richtung Kutno, das etwa 130 Kilometer von Warschau entfernt liegt, geführt. Unterwegs schossen die Deutschen auf jeden, dem die Kräfte versagten. Die Gefangenen erhielten weder Nahrung noch bekamen sie Wasser zu trinken. Von Kutno wurden die überlebenden Gefangenen in Güterzügen nach Dachau transportiert. Weniger als 2.000 Gefangene erreichten Dachau am 9. August 1944.
Im September 1944 wurden etwa 4.000 Häftlinge aus dem Lager Bor in Jugoslawien nach Ungarn gebracht und von dort ins Lager Oranienburg nach Deutschland. Mehr als 3.000 Menschen wurden auf dem Marsch ermordet. Im November 1944 wurden 70.000 Juden aus Budapest auf einen Marsch zu den Konzentrationslagern im Reichsgebiet, hauptsächlich nach Dachau und Mauthausen, gezwungen. Zehntausende von ihnen wurden während des Marsches ermordet.
Mitte Januar 1945, in Folge der wieder aufgenommenen Offensive der Roten Armee, begann die Evakuierung der Konzentrationslager in den übrigen Teilen Polens. Die großen Todesmärsche im Januar gingen hauptsächlich von Auschwitz-Birkenau im Süden und vom Lager Stutthof im Norden aus. Am 18. Januar 1945 begann die Evakuierung von Auschwitz und seinen Nebenlagern. Etwa 66.000 Häftlinge, zum Großteil Juden, wurden auf Todesmärschen oder in Güterzügen in verschiedene Lager gebracht, zum Großteil nach Groß-Rosen, Buchenwald, Dachau und Mauthausen. Mindestens 15.000 von ihnen kamen dabei ums Leben. Wenige Tage später begann die Evakuierung der Nebenlager von Stutthof und am 25. Januar 1945 begann die Evakuierung des Hauptlagers Stutthof. Insgesamt kamen auf den Todesmärschen und durch Erschießungen am Strand etwa 26.000 der ungefähr 50.000 Häftlinge von Stutthof ums Leben.
Anfang Februar 1945 begann die Evakuierung des Hauptlagers Groß-Rosen und einiger Nebenlager in seiner Umgebung. Insgesamt wurden aus ihnen etwa 40.000 Häftlinge geholt. Tausende wurden unterwegs ermordert, und die Überlebenden wurden in die Lager Dora-Mittelbau, Flossenbürg, Buchenwald, Mauthausen, Dachau, Bergen-Belsen und Sachsenhausen gebracht.
Von März 1945 bis zur Kapitulation des Dritten Reiches, am 8. Mai 1945, wurde mindestens eine viertel Million Gefangene, Männer und Frauen, auf Todesmärsche gezwungen, die manchmal mehrere Wochen dauerten. Sie kamen in unterschiedlichen Gegenden Zentraldeutschlands und Westösterreichs entweder eingeschlossen in Güterwaggons durch Ersticken, Hitze, Hunger und Durst ums Leben oder wurden auf den Todesmärschen ermordet.
Ende März und Anfang April 1945 wurden 21.000-23.000 der 48.000 Häftlinge Buchenwalds auf einen Marsch von mehreren hundert Kilometern zu verschiedenen Konzentrationslagern gezwungen. Tausende wurden unterwegs ermordet. Zur gleichen Zeit begannen Todesmärsche aus den Lagern Flossenbürg, Sachsenhausen, Neuengamme, Magdeburg, Mauthausen, Ravensbrück und einigen Nebenlagern von Dachau. Auf diesen Märschen kamen Zehntausende ums Leben.
Die Todesmärsche wurden bis zum letzten Tag des Krieges fortgesetzt. Insgesamt kamen dabei von Sommer 1944 bis Kriegsende zwischen 200.000 und 250.000 Gefangene der nationalsozialistischen Konzentrationslager ums Leben. Ein Viertel bis Drittel dieser Opfer waren Juden. Nach dem Krieg wurden mehrere hundert Massengräber mit zehntausenden Gefangenen, die auf diesen Todesmärschen ums Leben gekommen waren, entlang der Todesmarsch-Routen gefunden.